D2-0040 : Ablation laser

Laboratoire d'épitaxie avancée par ablation laser

Locaux D2-0040 (laser) et D2-0041(salle propre)

Poste côté laser: 63018

Poste côté salle propre: 62503

 

Lasers


IMPORTANT

Le port de lunette de protection est obligatoire pour TOUS les utilisateurs du laser Excimer durant son utilisation. De plus, tous les usagers doivent avoir suivi une formation sur la sécurité laser et l'entraînement approprié pour utiliser ce laser. Pour suivre la formation en sécurité laser, vous devez contacter Guy Bernier (guy.bernier_at_usherbrooke.ca). Voir aussi le site de l'UdeS sur la sécurité laser.

Utilisateurs autorisés (et formés)

Patrick Fournier (prof.), Stéphane Pelletier (tech.), Bobby Rivard (tech), Mohamed Balli (professionnel), Mohammad Abbasi (PhD), Naima Brahiti (PhD), Maxime Dion (professionnel), Guillaume Hardy (PhD), Priyanka Brojabasi (PhD), Nicolas Harnois (MSc), Sara Ghotb (PhD).

Item

Description générale Liens pertinents Formation requise

Laser Excimer - Classe 4

LPX305i de Lambda Physik (maintenant Coherent Inc.)

Laser pulsé de haute densité énergétique produisant un faisceau d'environ 5 cm x 3 cm d'aire et une énergie de 1.4J par pulse, chacun d'environ 20 ns de durée. Le parcours optique du faisceau sortant jusqu'à la chambre d'ablation utilisée est contenu dans une enceinte de plexiglass empêchant les réflexions sur les différents objets sur le chemin optique d'atteindre les utilisateurs. 

L'alignement des optiques externes DOIT être effectué par le personnel qualifié (Fournier, Pelletier, Dion, Matte).

L'alignement des optiques internes ne peut être effectué que par Stéphane Pelletier (assistance possible par P. Fournier).

 

1) Formation laser de l'UdeS requise pour tous les utilisateurs (lien)

2) Examen par ophtalmologiste requis pour étudiants de 2ième et 3ième cycles, assistants de recherche, postdocs, staff technique (lien)

Laser He-Ne - Classe 3B Petit laser attaché en permanence au laser excimer pour alignement des miroirs lors des nettoyages (ne doit pas être enlevé de son socle).  

1) Formation laser de l'UdeS requise pour tous les utilisateurs (lien)

2) Examen par ophtalmologiste requis pour étudiants de 2ième et 3ième cycles, assistants de recherche, postdocs, staff technique (lien)

 

Solvants

Utilisateurs autorisés (et formés)

Patrick Fournier (prof.), Stéphane Pelletier (tech.), Bobby Rivard (tech), Mohamed Balli (professionnel), Mohammad Abbasi (PhD), Naima Brahiti (PhD), Maxime Dion (professionnel), Guillaume Hardy (PhD), Priyanka Brojabasi (PhD), Nicolas Harnois (MSc), Sara Ghotb (PhD).

Item

Description générale Liens pertinents MSDS

Acétone

Utilisé pour le nettoyage des substrats 

Compagnie: 

MSDS web

Acétone

Méthanol

Utilisé pour le nettoyage des substrats et élément chauffant

Compagnie: 

MSDS web Méthanol
Alcool isopropylique

Utilisé pour le nettoyage des substrats

Compagnie: 

MSDS web Isopropyl Alcohol
Alcool éthylique

Utilisé pour le nettoyage des substrats

Compagnie: 

MSDS web Ethyl Alcohol
    MSDS web  

 

Acides

Utilisateurs autorisés (et formés)

Patrick Fournier (prof.), Maxime Dion (professionnel), Guillaume Hardy (Ph.D.).

Item

Description générale Liens pertinents MSDS

Acide nitrique diluée à 1%

Cette petite quantité d'acide est utilisée pour nettoyer les fenêtres et l'intérieur des chambres d'ablation laser.

Attention !!! Très corrosif !

Compagnie:

MSDS web

Acide nitrique

Solution Pirannah

Contenu : un mélange à concentration variable d'acide sulfurique H2SO4 et de peroxyde d'hydrogène H2O2

Utilisée pour graver chimiquement la plupart de nos couches minces à base d'oxyde, entre autres pour des tests d'épaisseur. 

Wiki FR

Wiki EN

Acide sulfurique

Peroxyde d'hydrogène

       

 

Autres

Utilisateurs autorisés (et formés)

Patrick Fournier (prof.), Stéphane Pelletier (tech.), Bobby Rivard (tech), Mohamed Balli (professionnel), Mohammad Abbasi (PhD), Naima Brahiti (PhD), Maxime Dion (professionnel), Guillaume Hardy (PhD), Priyanka Brojabasi (PhD), Nicolas Harnois (MSc), Sara Ghotb (PhD).

Item

Description générale Liens pertinents MSDS

Peinture d'argent (silver paste - Leitsilber)

Peinture d'argent utilisée pour coller les substrats sur les éléments chauffants ou supports à substrats (saphir).

Compagnie: Ted Pella / PELCO

MSDS web

Leitsilber 200

Pâte d'argent (SPI supplies)

Pâte d'argent pour coller les cibles sur les supports en cuivre pour l'ablation laser. Doit être chauffée à environ 150oC pendant 1h30. 

Compagnie: SPI supplies

LIEN